方块电阻和电阻率的关系式
问题描述:
方块电阻和电阻率的关系式
答
关系式:方块电阻Rs=ρ/w (其中ρ为薄层材料的电阻率,w为薄层材料的厚度).
注意:
1-薄层材料的电阻率必须是均匀的.如样品是扩散层,本关系式不成立;
2-假如采用直线四点探针法测试样品,必须在w/s小于0.6的情况下(其中s为探针间距),使用本关系式.