怎么根据硅片重量计算厚度阿
问题描述:
怎么根据硅片重量计算厚度阿
答
要看是好多英寸的,还要晓得纯硅的密度(可查).
若硅片直径d米(1英寸=0.0254米),硅的密度为ρ千克/米³,硅片重m千克,硅片均匀且不考虑定位边的话,那么硅片的厚度h大致为
h=4m/ρπd²
如果要考虑定位边,定位边截去的面积为Sd米²,则
h=4m/(ρπd²-4ρSd)
h单位是米,网上查得ρ=2.42克/厘米³=2420千克/米³,注意单位转化.