对硅的不同晶面都有着不同的腐蚀速度,对(100)面腐蚀较快,对(111)面腐蚀的较慢,因

问题描述:

对硅的不同晶面都有着不同的腐蚀速度,对(100)面腐蚀较快,对(111)面腐蚀的较慢,因

固体效应.