写出粗硅到SiHCl3的化学方程式

问题描述:

写出粗硅到SiHCl3的化学方程式
石英砂(焦炭、高温)→粗硅(HCl、精馏、加热)→SiHCl3(H2、1084℃)→高纯硅+HCl

SiO2+2C=Si+2CO
2Si+6HCl=2SiHCl3+3H2