关于硅的化合物的化学反应方程式

问题描述:

关于硅的化合物的化学反应方程式
1.氮化硅陶瓷被氢氟酸腐蚀
2.四氟化硅和氮气在氢气气氛保护下,加强热发生反应,可得较高纯度的氮化硅

Si3N4+12HF===3SiF4+4NH3
3SiF4+2N2+6H2===Si3N4+12HF