什么是FIB

注:并非用Ga+才叫FIB(In,Au.AsPd2.),只是大多数商用FIB都是用Ga,因为-?(整理好在写).\x0dFocused(聚焦):将离子束聚焦\x0dIon(离子):Ga --- Ga+\x0dBeam(束):很多离子往同一路径(方向)移动\x0d________________________________________聚焦\x0d太阳光(光束)通过放大镜(凸透镜)会聚成一点就叫聚焦.同理将离子束透过静电透镜(electrostatic)聚焦称为FIB.\x0d________________________________________离子\x0d带电粒子叫离子(Ion);镓原子失去一个电子形成镓离子(Ga+,正离子),氯得到一个电子形成氯离子(Cl-,负离子).\x0d商用FIB用Ga+为离子源.如右图所示利用使用一高压电将Ga从一针尖直接拉出(Extract).\x0d注:离子不一定仅单一元素或单一电子变化.\x0d________________________________________\x0d将以下各项结合在一起构成一部FIB:\x0dIon Column聚焦离子枪真空系统\x0d控制系统 (包括 Stage,各部分协调与操控.)操作接口辅助气体 (不同应用有不同选择)