ECR微波等离子体离子参数的测量中 等离子体参数的测量方法有哪些?简述其优缺点?
问题描述：
ECR微波等离子体离子参数的测量中 等离子体参数的测量方法有哪些?简述其优缺点?
答
在等离子体诊断中,Langmuir探针是最早的等离子体诊断手段之一；是低气压冷等离子体应用最广泛的等离子体诊断工具.其突出优点是：结构简单,操作方便,能够直接测量等离子体的局部V-I曲线,且根据测得的伏安曲线可导出等离子体密度、电子温度和空间电位等参数,而光谱测量等技术,只能测得等离子体的平均参数.