检查表面的平整度 薄膜干涉如果等厚条纹是一组互相平行的等间距的直条纹,那么检查的平面是光洁平面,如果等厚条纹是一些疏密不均匀的变化曲线,那么根据实际条纹与直线条纹之间的差异,就可判断待测工件平面“凸起”或“凹陷”的情况.为什么有的等间距 有的不等关键是 为什么有的等间距 有的不等

想象一下平时看玻璃时的感觉,如果有凸起,就有弧型的光感围绕于此,如果是凹进的镜面,光感就往凹的地方陷!然而薄膜干涉是检查非常微小的凹凸的,所以线与线间距太大说明凸,间距太小则是凹!还有一种方法来理解就是作图(光的反射路经图)

原干涉条纹（左侧对应为尖角位置,实线为亮纹,虚线为暗纹,且假设第二条亮纹对应的垂直位置上物体表面不平整） ：
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（2） 检验条纹（ 物体表面凸起时）
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（3） 检验条纹（ 物体表面凹陷时）
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原理大致可以理解为,当物体表面凸起时,被薄膜反射出的两列频率相同的光在同一垂直方向上相干（具体内容就不细说了）.
此时垂直方向上两列相干波的相位差恒定,等于这一位置上下两板距离的两倍.
若这一位置的表面凸起,则可认为此位置上两列波的波程差变小了,因此干涉条纹趋向波程差逐渐减小的尖角方向,也就是左侧（具体现象如上图示）
同理,若凹陷则趋向右.
这是别人的解答.