clearing dose 与辐射相关的,
问题描述：
clearing dose 与辐射相关的,
答
clearing dose 是“ 明确的剂量在电子散射能量沉积为双高斯分布的前提下,提出了一种提取电子束光刻中电子散射参数α,β和η的新方法.该方法使用单线条作为测试图形.为了避免测定光刻胶的显影阈值,在实验数据处理中使...
clearing dose 与辐射相关的,
clearing dose 是“ 明确的剂量在电子散射能量沉积为双高斯分布的前提下,提出了一种提取电子束光刻中电子散射参数α,β和η的新方法.该方法使用单线条作为测试图形.为了避免测定光刻胶的显影阈值,在实验数据处理中使...