LEC法生长Si-GaAs单晶是什么意思
问题描述：
LEC法生长Si-GaAs单晶是什么意思
主要解释LEC法生长就好了
答
LEC是液体封装Cz法（Liquid Encapsulated Czochralski）,是一种直拉的方法,通常采用氧化硼作为覆盖剂,在炉体中充入高压氮气.在拉晶过程中要经过引晶、放肩、等径、收尾、降温的过程.Si-GaAs可以理解成掺Si的GaAs,但...