硅烷（SiH4）和三氟化氮(NF3)的反应产物是什么?

分类: 作业答案 • 2022-03-13 15:18:09

问题描述：

答

有水参加反应：
8 NF3 + SiH4 + 11 H2O = 24 HF + 8 NO + H2SiO3
无水参加反应：
8 NF3 + 3 SiH4 = 4 N2 + 3 SiF4 + 12 HF