MEMS加速度传感器有哪些特点?

问题描述:

MEMS加速度传感器有哪些特点?

在此背景下,许多新兴市场需求涌现,客观上再次促进传感器技术的创新.日前,由中国电子[0.630.00%]科技集团第13研究所研制的MEMS加速度传感器突破了高精度SOI工艺加工、圆片级可调阻尼封装、低功耗ASIC专用集成电路等关键技术,在国际招标项目中,一举战胜美国PCB公司和瑞士奇石乐等国际知名传感器厂商.这是国产MEMS加速度传感器首次在国际招标中获胜,标志着中国电科MEMS加速度传感器已达到国际先进产品水平.MEMS加速度传感器具备高精度、高分辨率(分辨率优于10μg)、低噪声(13所2.5μg,国外同类产品约5μg)、低功耗、低温漂、抗过载和超小体积(体积是国外同类产品1/4)、重量小于1.2克(国外同类产品约10克)等技术特点,主要技术指标全面超越国外同类产品.目前,MEMS传感器主要应用在汽车和消费电子两大领域.汽车工业是传感器的一个重要应用领域.每辆汽车会有40到上百个传感器,而汽车智能化的发展趋势也将促进汽车市场对传感器的需求.