将气压从大气压降到10的－8次方Torr要经历哪分别经历哪三个真空泵抽气?
问题描述：
将气压从大气压降到10的－8次方Torr要经历哪分别经历哪三个真空泵抽气?
请注明各种真空泵的抽真空范围？
答
机械泵－扩散泵－分子泵－离子泵
不过,现在技术进步了,可以直接机械泵－分子泵即可达到10的－8次方Torr