Si4Cl4和N2在H2气氛保护下,加强热发生反应,可得较高纯度的氮化硅.反应的化学方程式为

问题描述:

Si4Cl4和N2在H2气氛保护下,加强热发生反应,可得较高纯度的氮化硅.反应的化学方程式为

3SiCl4 + 2N2 + 6H2 ----> Si3N4 + 12HCl