化学试剂中的电子级什么意思?
问题描述：
化学试剂中的电子级什么意思?
电子级分为：EL级、UP级、UP－S级
都各指什么意思?谁能帮我详细解答下?
谢谢
答
电子化学试剂按照纯度分为UP—S级、UP级、EL级三个等级.
UP-S级:适用0.35-0.8微米集成电路加工工艺,金属杂质含量小于1ppb,经过0.05微米孔径过滤器过滤,控制0.2微米粒子,在100级净化环境中灌装达到SEMI C8标准.
UP级:适用1微米集成电路及TFT-LCD制造工艺,金属杂质含量小于10ppb,经过0.2微米孔径过滤器过滤,控制0.5微米粒子,在100级净化环境中灌装,达到SEMI C7标准
EL级:金属杂质含量小于100ppb,控制1微米粒径粒子,达到SEMI C1 C2标准,适合中小规模集成电路及电子元件加工工艺