在测量半导体材料电阻率时,为什么要求待测面平整、粗糙

问题描述:

在测量半导体材料电阻率时,为什么要求待测面平整、粗糙

在采用四探针法测量电阻率时,金属探针不能与半导体形成整流接触,故打毛表面以破坏肖特基势垒的作用.
只有表面平整,才能较好地满足四探针技术的要求,以使测量准确.