多晶硅片各点间电阻率差异大,这是什么原因呢?
问题描述：
多晶硅片各点间电阻率差异大,这是什么原因呢?
硅片用MS203测试电阻率接近3.5左右,但是小方锭用RT1000测试电阻率最大值只有2.2左右.
答
从原理上讲,多晶硅片各点间电阻率有差异是正常的.
既然是多晶硅,说明其中有许多晶粒和晶界.由于晶粒的大小不统一,所以在不同的测量点范围内,包含的晶粒和晶界数量是不同的.又由于晶界的电阻率大于晶粒的电阻率,所以导致了“多晶硅片各点间电阻率差异大”.