四探针法中,方块电阻就是表面电阻率吗?可以采用这种四探针法直接测试薄膜的表面电阻率吗?

问题描述:

四探针法中,方块电阻就是表面电阻率吗?可以采用这种四探针法直接测试薄膜的表面电阻率吗?
如果可以,是直接读出的那个数值吗?还是有其他的计算公式呢?公式是什么?

方块电阻就是表面电阻率.
可以四探针法直接测试薄膜的表面电阻率.
计算公式:方块电阻(或表面电阻率)R = 4.532 * V / I .其中,V 是探针2-3 间的电位差; I 是探针1-4 间的电流.