太阳能等离子刻蚀机的真空泵产生气体是什么气体,对人会产生什么危害

分类: 作业答案 • 2021-12-31 13:10:18

问题描述：

答

CF4和NH3的反应气体,真空泵排气端接尾气处理装置,处理后空排,应该不会对人产生危害的,如果没有尾气处理装置,产生氟化物气体对人伤害较大,主要表现为肺部病状和生殖系统病状.环保局要管的.